陶瓷电容式薄膜真空计与电阻计热偶计有什么不同

陶瓷电容式薄膜真空计与电阻计热偶计有什么不同 &nbsp;&nbsp;<p><strong>陶瓷电容式薄膜真空计与电阻计热偶计有什么不同</strong></p><p>&nbsp;</p><p>薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量（0.01--100Pa）工作副标准的一种真空仪器，<br />也是我国唯一具有法定计量校准检定规程的一种真空度计量器具（校准参照规程：Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程）<br /><br />电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。<br /><br />而我们常用的真空计往往是电阻计、热偶计等等间接测量的热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%，行业标准是±50%？），尤其是在低真空段，误差更大。使用过电阻计、热偶计的度知道，测量前还需要零点、满度校正一下，不然误差还会更大。另外，不同成分的气体其热传导系数是不一样的，这种工况时，电阻计、热偶计测量值会增加变化±20-50%。</p><p>所以，要使用热偶计、电阻计准确测量真空度是很难的。</p><p><br />不过，它确实也有它的优点的：制造容易、价格低廉，还普遍使用着。用过的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。所以选择真空计、真空传感器、首先要看测量技术的先进性，而不是只看是不是进口的、数字、智能，等等；测量机理陈旧，再怎么数字、怎么智能，也于事无补的。<br /><br />现代真空应用技术的发展，涉及的应用范围越来越广泛、真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空单晶炉、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。<br />许多新设备、新工艺、新产品的开发之所以老是无法实现预想的技术指标和效果，往往就是因为真空测控仪表选型不当、其实际的测量控制精度无法达到设计要求所造成的。<br />当然，薄膜真空计也不是没有缺点的，首先是价格高；进口则1.6—2.5万元/只；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气，容易坏，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往会报废，小量程的2\3会坏。</p><p><br />所以，我们需要有一种具有国产价格、进口品质的、使用方便、经久耐用薄膜真空计。紧跟国际先进的真空测量新技术，我们应该能够做得到的。</p><p><br />国外的薄膜真空计的核心技术一是陶瓷薄膜真空压力测量技术、二是半导体厚膜电路和智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路（国内有些厂家还是20年前的007运放），将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；（其典型代表如MKS-626\627、英福康TCBG等等）。</p>